機器一覧 

 加工

電子ビーム描画装置(EB)

品番・型番: ELS-7500EX
製造   : エリオ二クス
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(クラス10)

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)

品番・型番:FB-2100
製造   :日立ハイテクノロジーズ
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(クラス1000)

ロードロック式3元スパッタ装置

品番・型番:M09-0014
製造   :日本シード研究所
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(暗室)

手動式マスクアライナ

品番・型番:MJB4
製造   :ズースマイクロテック
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(クラス10)

超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー

品番・型番:7476D
製造   :ハイソル
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(暗室前)
 計測

物理特性測定システム(PPMS)

品番・型番:PPMS-9T
製造   :日本カンタムデザイン
設置場所 :C10棟215

X線回折装置(XRD)

品番・型番:Smart Lab
製造   :リガク
設置場所 :C10棟215

X線回折装置解析PC

設置場所 :C10棟214 CR準備室

比表面積・細孔分布測定装置(BELSORP)

品番・型番:BELSORP-max32N-K
製造   :マイクロトラック・ベル
設置場所 :C10棟114

触針式表面形状・膜厚段差測定装置(Dektak)

品番・型番:Dektak150
製造   :ブルガ
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(クラス10)

ゼータ電位・粒径測定システム

品番・型番:ELSZ-DN2
製造   :大塚電子
設置場所 :C10棟302

高感度型示差走査熱量計(DSC)

品番・型番:DSC7020
製造   :日立ハイテクサイエンス
設置場所 :C10棟114

分光蛍光光度計

品番・型番:RF-5300
製造   :島津製作所
設置場所 :C10棟302

リアルタイムPCR装置

品番・型番:Thermal Cycler Dice Real Time System III)TP950)
製造   :タカラバイオ
設置場所 :C10棟302

精密電子天秤

品番・型番:XP-56
製造   :メトラー・トレド
設置場所 :C10棟302

メスバウア分光装置

品番・型番:MVT-1000 ほか
製造   :Wissel
設置場所 :B5棟1C-75

 

 観察

電界放出形走査電子顕微鏡(EDX付)(FE-SEM)

品番・型番:SU8010
製造   :日立ハイテクノロジーズ
設置場所 :C10棟114

走査型プローブ顕微鏡(AFM)

品番・型番:SPA-400
製造   :日立ハイテクサイエンス
設置場所 :C10棟302

レーザーラマン顕微鏡

品番・型番:RAMAN-11
製造   :ナノフォトン
設置場所 :C10棟302

金属顕微鏡システム

品番・型番:LV-100
製造   :ニコン
設置場所 :C10棟302

デジタル顕微鏡

品番・型番:VHX-1000
製造   :キーエンス
設置場所 :C10棟2階クリーンルーム(クラス10)

ルミノ・イメージアナライザ

品番・型番:Amersham Imager 600
製造   :GEヘルスケア・ジャパン
設置場所 :C10棟302